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国产直写式光刻机在肥问世

日期:2007-12-26  来源:安徽日报 重庆法制网  编辑:唐维敏

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    12月25日,国内首台直写式光刻机在合肥成功面世,标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。位于合肥经济技术开发区的芯硕半导体(中国)有限公司此次研制的直写式光刻机,操作便捷、运行成本低,产品处于世界同类产品领先水平。我国目前生产用光刻机全部依赖进口。芯硕半导体(中国)有限公司于2006年落户合肥。该公司拥有多项有关集成电路设备的关键技术。 吴兴安

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